재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도 기업 어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)가 반도체 신기술의 발견과 개발, 상용화를 가속하는 혁신적인 플랫폼 AIx를 발표했다.

AIx 플랫폼에는 머신러닝과 AI 알고리즘을 기반으로 방대한 데이터를 저장 및 분석하기 위한 컴퓨팅 자원이 포함된다.

액셔너블 인사이트 액셀러레이터(Actionable Insight Accelerator)를 의미하는 AIx는 엔지니어들이 반도체 공정을 실시간 파악하고, 웨이퍼부터 개별 칩에 이르기까지 수백만 번의 측정을 거쳐 수천 개 공정 변수를 최적화할 수 있도록 해 ‘PPACt(전력·성능·공간 비용·출시 소요 기간)’를 향상한다.

AIx 플랫폼은 어플라이드의 모든 공정 장비, 전자빔(eBeam) 계측 시스템, 검사 시스템과 호환되며 랩(Lab)부터 양산시설(Fab)까지 확장할 수 있다. AIx는 엔지니어들에게 연구개발 과정의 혁신적 레시피를 그대로 복제하도록 하는 역량을 제공함으로써 대량생산(HVM)을 가속한다.

AIx는 로직 반도체와 메모리 반도체 모두에서 PPACt 개선에 이바지하며 현재 이미 업계에서 사용되고 있다.

어플라이드 AIx 플랫폼은 챔버 AI(Chamber AI), 온 보드 계측, 인라인 계측, 어플라이드 PRO(Applied PRO), 디지털 트윈, 컴퓨팅 자원 등으로 구성된다.

챔버 AI(Chamber AI)는 어플라이드 머티어리얼즈 공정 챔버를 위한 새로운 센서와 머신러닝 알고리즘으로 엔지니어들에게 화학·에너지·압력·온도·기간 등의 변수 애널리틱스를 실시간 제공한다.

AIx 플랫폼에는 어플라이드의 일부 챔버와 시스템의 디지털 트윈 모델이 포함된다. 이 디지털 트윈 모델은 레시피 개발을 가속하고 매칭과 램프 이전(ramp transfer)을 향상하고 양산 결과와 수율을 최적화한다.

프라부 라자(Prabu Raja) 어플라이드 머티어리얼즈 반도체 제품 그룹 부사장 겸 총괄 매니저는 “PPACt의 시간(t)을 단축하는 일은 반도체 생태계 모든 기업에 가장 중요한 가치다"라며, "AIx는 개발 시간을 절반으로 줄이고 공정 윈도우를 삼 분의 일로 향상한다는 목표로 어플라이드의 모든 역량을 새로운 방식으로 연결한다”고 말했다.

이어 그는 “어플라이드는 업계 당면 과제를 해결하는 완전히 새로운 종류의 툴킷(toolkit)을 엔지니어들에게 제공하기 위해 3년간 AIx를 개발해왔다”고 덧붙였다.